Druckkontrollprinzip der Vakuumbeschichtungsausrüstung

1. Hintergrundeinführung
Vakuumbeschichtungsausrüstung ist eine Art Geräte, die in der industriellen Produktion weit verbreitet sind. Seine Hauptfunktion besteht darin, das Material zu setzen, das in die Vakuumbeschichtungskammer beschichtet werden muss, und durch die Reaktion unter hoher Temperatur und hoher Vakuumumgebung wird die Filmschicht gleichmäßig auf der Oberfläche des Materials abgelagert. und bilden eine bestimmte Beschichtungsschicht mit speziellen Funktionen und Eigenschaften. Unter diesen sind die Vakuumgrad und die Adhäsionsrate in den Geräten wichtige Indikatoren, die die Qualität der Beschichtungsschicht beeinflussen, und die Stabilität des Vakuumgrades hängt von der Druckregelung in den Geräten ab.
2. Prinzip der Druckkontrolle der Vakuumbeschichtungsausrüstung
1. Definition des Vakuumgrades
Bevor das Prinzip der Druckkontrolle eingeführt wird, ist es notwendig, einzuführen, was Vakuum ist. In der Physik bezieht sich Vakuum auf eine Gasumgebung, deren Druck weniger als atmosphärischer Druck beträgt, sodass sich der Grad des Vakuums auf den Gasdruck in einem bestimmten Raum bezieht. Im Allgemeinen wird das Vakuum normalerweise in Pascals (PA) oder Meter (MBAR) gemessen. Bei Vakuumbeschichtungsausrüstung beträgt der übliche Vakuumbereich 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Das Prinzip der Druckkontrolle
Wenn das Vakuum zu hoch oder zu niedrig ist, beeinflusst es den normalen Betrieb der Ausrüstung. Daher ist es notwendig, den Vakuumniveau in der Ausrüstung durch eine bestimmte Methode zu kontrollieren. Unter ihnen ist die Druckregelung eine relativ einfache und effiziente Kontrollmethode. Insbesondere besteht das Prinzip der Druckregelung darin, einen Druckregler zu verwenden, um die Gasströmungsrate in der Ausrüstung zu steuern, indem der Druck des kontrollierten Endes und dann durch den Rückkopplungsmechanismus erfasst wird, indem die Öffnung des Ventils gesteuert wird, um den Zweck der Steuerung zu erreichen.
3. Die Grundzusammensetzung des Druckregelers
Bei Vakuumbeschichtungsausrüstung wird im Allgemeinen ein Druckregelungsregler verwendet, um den Druck zu steuern. Die Grundzusammensetzung umfasst vier Teile: Erkennungssensor, Controller, Aktuator und Steuerungssystem.
Erkennungssensor: Es wird hauptsächlich verwendet, um die Druckänderung des gesteuerten Endes zu erkennen und in einen entsprechenden elektrischen Signalausgang für die Verwendung durch den Controller umzuwandeln.
Controller: Er empfängt den elektrischen Signalausgang hauptsächlich durch den Sensor, Prozesse und analysiert es und führt dann das Analyseergebnis dem Aktuator zurück, um den Öffnungsgrad des Aktuators zu steuern.
Stellantrieb: Es steuert hauptsächlich die Gasströmung in der Ausrüstung, indem es den Öffnungsgrad des Ventils steuert, um den Zweck der Steuerung des Drucks zu erreichen.
Steuerungssystem: Es wird hauptsächlich verwendet, um verschiedene Indikatoren in den Geräten wie Temperatur, Vakuumgrad usw. zu überwachen und zu steuern und eine Reihe von Kontrollstrategien zu erstellen.
3. Zusammenfassung
Zusammenfassend besteht das Prinzip der Druckregelung in Vakuumbeschichtungsanlagen darin, den Druck in den Geräten durch einen relativ einfachen und effizienten Rückkopplungsmechanismus zu steuern. Um ein solches stabiles Steuerungssystem festzulegen, erfordert die technische Unterstützung verschiedener Aspekte des Gerätesteuerungssystems wie Parameterüberwachung, Steueralgorithmus, Aktuatorkontrolle, Systemverbindung usw. Diese technischen Faktoren erfordern die Zusammenarbeit bestimmter professioneller und technischer Mitarbeiter, um sicherzustellen, dass die Ausrüstung eine hervorragende Leistung aufweisen kann.