Verstehen Sie, wie der Vakuumbeschichtungsprozess realisiert wird

Vakuumbeschichtungist ein Prozess zur Herstellung hochwertiger Dünnfilmmaterialien. Es erzeugt dünne Filme, indem organische oder anorganische Materialien thermisch verdunstet oder unter Vakuumbedingungen auf die Oberfläche eines Substrats sputtern. In diesem Artikel wird die Implementierung der Vakuumbeschichtung im Detail vorgestellt.

Der Vakuumbeschichtungsprozess enthält die folgenden Schritte:

1. Wählen Sie das richtige Substrat und das richtige Material

Die Auswahl des richtigen Substrats und des rechten Materials ist der erste Schritt bei der Vakuumbeschichtung. Das Substrat kann Glas, Kunststoff, Metall oder andere Nanomaterialien sein. Materialien können organisch oder anorganisch sein, wie Metalle, Halbleiter, Oxide oder Nitride.

2. Beladen Sie das Vakuumbeschichtungssystem

Der zweite Schritt besteht darin, das Substrat und die Materialien in das Vakuumbeschichtungssystem zu laden. Das Vakuumbeschichtungssystem umfasst eine Vakuumkammer, einen Metallverdampfer, ein Sputter und ein Kontrollsystem. Die Vakuumkammer ist ein geschlossener Raum, um eine Vakuumumgebung zu erhalten, Metallverdampfer und Spotter sind Geräte, die zum Verdampfen oder Sputtermaterialien auf Substrate verwendet werden, und das Steuerungssystem wird verwendet, um die Vakuumumgebung und die Verdampfung oder die Sputtergeschwindigkeit zu überwachen und anzupassen.

3. Vakuum

Nach dem Laden des Materials und des Substrats sollte die Vakuumkammer evakuiert werden. Das Staubsaugen ist ein sehr wichtiger Schritt, da die Aufrechterhaltung eines niedrigen Drucks und einer hohen Reinheit der Reinheit die Qualität der Membran garantieren kann. Die Vakuumumgebung liegt normalerweise unter 10^-6 Mbar, um Gasmoleküle und andere Schadstoffe auszuschließen.

4. Materialverdunstung oder Sputtern

Wenn die Vakuumumgebung den gewünschten Druck erreicht, kann das Material auf das Substrat verdampft oder gesputtert werden. Es gibt zwei Methoden zur Materialverdunstung: thermische Verdunstung und Elektronenstrahlverdampfung. Das Sputtern hat auch zwei Methoden: Magnetron -Sputter und Bogenspotterung. Welche Methode auch immer verwendet wird, müssen die Materialverdampfung oder die Sputtergeschwindigkeit und die Filmdicke kontrolliert werden.

5. MACHEN SIE MIELSAYER FILM

Sobald eine einschichtige Membran hergestellt wurde, können mehrere Schichten zusammengestellt werden, um ein Verbundwerkstoff zu bilden. Es können unterschiedliche Materialien und Ablagerungsprozesse verwendet werden, wie z. B. abwechselnde Ablagerung, Multi-Waffen-Materialkodeposition und zonierte Ablagerung.

6. Testmembranqualität

Der letzte Schritt besteht darin, die Qualität der Membran zu testen. Die Tests können unter anderem Dicke, physikalische Eigenschaften, optische Eigenschaften und elektrische Eigenschaften umfassen. Stellen Sie fest, ob das Membranmaterial die Anforderungen entsprechend den Testergebnissen entspricht.

Kurz gesagt, die Vakuumbeschichtungstechnologie ist eine Methode, um qualitativ hochwertige Dünnfilme zu erzielen. Es muss das entsprechende Substrat und das entsprechende Material auswählen, das Vakuumbeschichtungssystem laden, vakuumisieren, Material verdampfen oder sputtern, mehrschichtiger Film machen und die Filmqualität testen. Die Vakuumbeschichtungstechnologie wurde in der Elektronik-, Optik-, Medizin- und Energiefeldern häufig eingesetzt.