Hoher Vakuumöl -Diffusionspumpenproduktionsprozess

Hohe Vakuumöldiffusionspumpeist eine häufig verwendete Vakuumpumpe, die die Vakuum -Extraktion durch Verwendung von Öldampf verwendet, um in der Diffusionspumpe zu diffundieren und von Gasmolekülen absorbiert zu werden.

Die Pumpe hat eine hohe Pumpgeschwindigkeit, ein hohes ultimatives Vakuum und eine breite Anwendungsbereich und wird in Halbleiter, Elektronik, Instrumentierung, Vakuummetallurgie und anderen Feldern häufig verwendet.

Einige gängige Anwendungen umfassen: Herstellung von Mikroprozessoren und integrierten Schaltungen, Herstellung von Solarzellen und Photovoltaikmodulen, Herstellung von LED -Anzeigen, Vakuumschmelzen und Elektronenstrahlschweißen usw.

Der Produktionsprozess vonHohe Vakuumöldiffusionspumpeist wie folgt:

Vorbereitung des Pumpengehäuses: Das Pumpengehäuse besteht normalerweise aus Edelstahl und muss verarbeitet, poliert und gereinigt werden.

Bereiten Sie das Luftxtraktionssystem vor: Das Luftxtraktionssystem umfasst den Pumpenkörper, das Abgabventil, die Helium -Zwischenpumpe, das Kühler, das Wasserzirkulationssystem usw.

Bereiten Sie den Diffusor vor: Diffusoren bestehen normalerweise aus Glas und erfordern Erwärmung, Polieren und andere Prozesse. Der Diffusor sollte mit der Dichtfläche des Pumpengehäuses übereinstimmen und an der Dichtfläche des Pumpengehäuses festgehalten.

Heizung einbauen: Die Heizung des Pumpenkörpers muss in der Pumpenkörper installiert werden, um das Öl in der Pumpe zu erwärmen.

Installieren Sie ein Einweg -Sicherheitsventil: Um sicherzustellen, dass die Sicherheit der Bediener sichergestellt wird, ist ein Einwegsicherheitsventil erforderlich. Während der Produktion muss das Sicherheitsventil an das Abgasventil angeschlossen werden.

Ölfüllung: Füllen mit Wärmepumpenöl. Das Medium der Wärmepumpenöl- und Luft -Extraktionsmethode ist gleich.

Tests und Debugging: Tests und Debuggen sind nach Abschluss der Herstellung erforderlich, um die Stabilität und normale Funktion der hohen Vakuumöldiffusionspumpe zu gewährleisten.

Die oben genannte ist der Produktionsprozess einer hohen Vakuumöldiffusionspumpe, bei der professionelle Handwerker betrieben werden müssen.