Wartung und Reparatur von Vakuumbeschichtungsgeräten

Aufrechterhaltung der Vakuumbeschichtungsausrüstung
1.1 Aufrechterhaltung der mechanischen Vakuumpumpe:
(1) Die Pumpe und ihre Umgebung sollten immer sauber gehalten werden.
(2) Während des Betriebs der Pumpe darf das Ölvolumen im Öltank nicht niedriger sein als die Mitte des Ölzeigers.
(3) Vakuumpumpenöle verschiedener Typen und Marken können nicht gemischt werden.
(4) Der im Gebrauch der Pumpe stehende Temperaturinstitut darf 70 ° C nicht überschreiten.
(5) Das Öl der neuen Pumpe sollte 1 ~ 2 Mal geändert werden, nachdem es etwa 100 Stunden lang verwendet wurde. Nachdem sich das ersetzte Öl nicht mehr Eisen -Metallpulver enthält, kann es ersetzt werden
Erweitern Sie den Ölwechsel. Die Ölwechselzeit wird gemäß den Bestimmungen der Anweisungen und der tatsächlichen Nutzungssituation festgelegt.
(6) Die neue Pumpe und die reparierte Pumpe sollten für 4 ~ 6 Stunden getestet werden, um zu prüfen, ob die Pumpe den Verwendungsanforderungen erfüllt.
(7) Nachdem die Pumpe für lange Zeit (im Bereich von 2 bis 3 Jahren) verwendet wurde, nimmt der Grenzvakuumgrad ab und sollte einmal überholt werden. Es sollte auch
Reinigen und reparieren Sie das System, die Rohrleitung, das Ventil und den Motor.
(8) Wenn die Pumpe verwendet wird, sollte die Pumpe so schnell wie möglich gestoppt und ausgeschaltet werden
Trennen Sie das mit dem System verbundene Vakuumrohr (schließen Sie das niedrige Vakuumventil oder klemmen Sie die Vakuumklemme), um die Öleinspritzung und die Verschmutzung des Arbeitsplatzes zu verhindern.
(9) Zerlegen Sie nicht alle Teile der Pumpe ohne Erlaubnis. (10) Wenn die Pumpe nicht verwendet wird, verwenden Sie einen Gummistopfen (CAP)
Stecken Sie den Lufteinlass, um zu verhindern, dass Schmutz und harte Objekte in die Pumpe fallen. (11) Achten Sie immer auf den Entwicklungstrend der Vakuumtechnologie und versuchen Sie, so bald wie möglich neue Technologien und Materialien (wie neues Pumpenöl) einzuführen, um die Leistung des ursprünglichen Systems zu verbessern. Für die oben genannten Punkte können die entsprechenden Betriebsverfahren gemäß der spezifischen Situation formuliert und streng implementiert werden.
1.2 Tägliche Wartung des gesamten Ausrüstungssatzes:
(1) Die Betreiber sollten mit verschiedenen Instrumenten, Pumpen und verschiedenen Teilen der Ausrüstung vertraut sein. Lesen und verstehen Sie verschiedene Anweisungen.
(2) Der Wasserdruck von Kühlwasser sollte zwischen 0,1 ~ 0,2 MPa und der Auslasswassertemperatur mit 45 ° C gehalten werden.
(3) Der Druckluftdruck liegt zwischen 0,4 ~ 0,5 MPa.
(4) Überprüfen Sie vor dem Start jedes Kessels die Zylinderkapazität von Schutzgas, um eine unzureichende Gasfüllung zu vermeiden, und ersetzen Sie den Zylinder.
(5) Wenn nach dem Start ein abnormaler Zustand vorliegt, sollte es sofort beseitigt oder geschlossen werden, um die Ursache zu finden.

(6) Überprüfen Sie das Rückkehrwasservolumen jedes Teils häufig und stellen Sie sicher, dass während des Betriebs für jeden Teil ausreichend Kühlwasser vorliegt.
(7) (7) Wenn das Gerät nicht mehr verwendet wird, sollte das Gas im Ofen evakuiert werden. Wenn es lange nicht verwendet wird, sollte es mit Schutzgas gefüllt werden, und das zirkulierende Wasser in der Wasserkühlung der Ausrüstung sollte abgelassen werden.
(8) Die mechanische Pumpe und die Wurzelpumpe sollten regelmäßig geändert und betankt werden, und die Ölbecher der Wurzelpumpe sollte immer mit Öl gefüllt werden. Achten Sie beim Ölwechsel unbedingt
Das Abfallöl abtropfen lassen.
(9) Wenn Sie das Öl der Diffusionspumpe ändern, reinigen Sie die Oxidationsschicht innerhalb der Diffusionspumpe und ersetzen Sie sie dann durch neues Öl.
(10) Die Reinheit des geladenen Schutzgas sollte nicht weniger als 99,99%betragen.
(11) Entflammbare, explosive und ätzende Gase dürfen nicht als Schutzatmosphäre für diese Ausrüstung verwendet werden.
(12) Die Ausrüstungsoberfläche und die Instrumentenoberfläche sollten sauber gehalten werden. Es darf nicht die innere Wand des Ofens mit Wasser oder Nicht -Vakuum abwischen
Mit einem öligen Lappen abwischen.
(13) Das Öl-Wasser-Separator auf dem pneumatischen Triplex des pneumatischen Systems sollte häufig Wasser abtropfen und das Öl der Vakuumdiffusion in den Ölnebel injiziert werden.
(14) Die Spannung der gesamten Ausrüstung muss im Bereich von 350 ~ 420 v. Die drei Phasen sollten ausgeglichen werden.
(15) Die Regulierung, der elektrische Kontaktstecher, die Thermoelemente usw. sollten häufig mit Diffusionspumpenöl beschichtet werden, um einen Ölfilm zwischen ihm und dem Sitz zu bilden.
Luftleckage verhindern. Die oben genannten Teile und Flanschanschlüsse dürfen lange Zeit nicht mit Vakuumversiegelungsschlamm versiegelt werden.
(16) Die Schrauben jedes Teils müssen regelmäßig überprüft werden. Wenn sie locker sind, müssen sie rechtzeitig festgezogen werden.
(17) Wenn die Ausrüstung funktioniert, achten Sie auf die Anzeige jedes Instruments und den Klang jeder Pumpe, um die Abnormalitäten rechtzeitig herauszufinden und herauszufinden
(18) Die Betriebsumgebung des Geräts liegt bei einer relativen Luftfeuchtigkeit von 85% A und einer Temperatur von 10 ~ 40 ° C, wenn die Geräte beim Zerlegen und Reparaturen nicht alle Teile sind, sind nicht alle Teile
Es darf mit einem schweren Hammer klopfen, und die Versiegelungsfläche und die Versiegelungsnut darf nicht zerkratzt werden.
(19) Wenn die Ausrüstung arbeitet, darf der Betreiber den Posten nicht lange verlassen.
Aufrechterhaltung der Vakuumbeschichtungsausrüstung
2.1 Wartungspunkte der Wartung von Vakuumbeschichtungsausrüstung:
Der entscheidende Punkt bei der Aufrechterhaltung der Vakuumausrüstung besteht darin, den Fehler zu beurteilen. Es ist oft so, dass das Vakuum nicht gepumpt werden kann. Es kann mehrere Gründe geben. Wir müssen die Gründe herausfinden. Vielleicht hat die Vakuumeinheit eine nicht genügend Pumpkapazität, oder die Leckquote ist hoch oder beides. Zu diesem Zeitpunkt sollten Sie geduldig beobachten und aufzeichnen, um den Fehler herauszufinden. Wenn beispielsweise die Evakuierungszeit gleich ist und der Vakuumgrad niedrig ist, schließen Sie das Hauptventil zu diesem Zeitpunkt. Wenn der Zeiger des Vakuummessers in den meisten Fällen schnell sinkt, leckt der Vakuumkammer. Zu diesem Zeitpunkt sollte der Leckagepunkt zuerst herausgefunden werden. Wie Vakuum
Der Zeiger des Messgeräts fällt sehr langsam ab. In den meisten Fällen ist die Pumpkapazität der Vakuumeinheit nicht ausreichend. Zu diesem Zeitpunkt können wir uns darauf konzentrieren, die Vakuumpumpe und das Ventil zu finden
Zu sehen, wo es Leckage gibt oder das Öl der Diffusionspumpe verschmutzt und oxidiert wird; Oder die Frontbühnenpipeline ist nicht gut versiegelt,
Unzureichendes Pumpenöl; Oder Pumpenölemulgierung, Wellendichtungsöl -Leckage und andere Fehler.
1 、 Erkennungslecksrate:
Das problematischste Problem für Benutzer ist die Erkennungsleckquote. Leckage ist in interne Leckagen und externe Leckagen unterteilt. Externe Leckage ist einfacher zu erkennen, während interne Leckagen schwierig sind
Mach etwas. Für größere Leckagepunkte kann die Flammenmethode verwendet werden. Unter Verwendung des Prinzips, dass der Luftfluss die Flamme abweichen kann, vakuum zuerst, beispielsweise die Verwendung von Kerzen
Oder das Feuerzeug wird allmählich in der Nähe des verdächtigen Punktes durchsucht, und es wird festgestellt, dass die Flamme zum Leckagepunkt verlagert und dann der Leckagepunkt gefunden werden.
(1) Finden Sie Lecks und Mikrolecks:
Kleine Lecks und Mikrolecks sind schwieriger zu überprüfen. Die häufig verwendete Methode besteht darin, das Ionisationsrohr zu verwenden, um Lecks zu erfassen, indem sie auf bestimmte Gase in einem hohen Vakuumzustand wie Aceton oder Ethanol empfindlich sind. Verwenden Sie eine medizinische Spritze, um Aceton oder Ethanol in verdächtige Orte zu sprühen. Wenn es den Leckpunkt erreicht, schwingt der Zeiger des Ionisationsmessgeräts offensichtlich. Wir müssen Patient sein, um diese Methode zu verwenden, um Leckagen zu erkennen. Wir müssen warten, bis die Angabe des Ionisationsmessgeräts stabil ist - dh die Pumpkapazität und die Leckquote der Vakuumeinheit sind ausgewogen und sprühen dann. Wiederholen Sie mehrmals, um den Leckagepunkt zu bestätigen. (2) Suche nach Leckage und externer Leckage: Die interne Leckage tritt hauptsächlich an der Ausrüstung mit wassergekühlter Mantel auf. Zweifellos findet man bei der externen Leckage, aber die folgenden Phänomene bestehen: Die Pumpgeschwindigkeit der mechanischen Pumpe ist offensichtlich niedrig, der Indikationswert der Vakuummesser ist niedrig, das mechanische Pumpenöl wird schnell emulgiert und die Teile auf Eisenbasis in der Vakuumkammer sind offensichtlich abgeruhigt. Bei den oben genannten Bedingungen kann interne Leckagen im Grunde bestimmt werden. Beispielsweise gibt es einen 25 kg mittelfrohen Frequenzofen mit 2x-70-Rotationsschaufelpumpe und zwei ZJ-150-Wurzelnpumpen. Wenn sie zusammen gepumpt werden, können sie nur 10 pa pumpen. Die Funktion der ZJ-150-Pumpe ist nicht zu sehen, und es wird keine externe Leckage gefunden, es gibt jedoch Bedingungen, dass das mechanische Pumpenöl schnell emulgiert werden kann, und die Eisenbasisteile in der Vakuumkammer sind offensichtlich verrostet. Nachdem die Demontagegeräte gereinigt wurden, wird die Ofenabdeckungsleckage durch Übergabe von Kühlwasser gefunden, und der Rest besteht darin, den Leckagepunkt herauszufinden. Reinigen Sie zuerst die innere Wand und verbinden Sie das Kühlwasser, um festzustellen, ob es einen nassen Punkt gibt. Der Nasspunkt ist der Leckagepunkt.
2 、 Fehlerbehebung:
Finden Sie den Fehlerpunkt heraus und befassen Sie sich mit ihm nach örtlichen Bedingungen. Der einfache Weg besteht darin, Teile zu ersetzen, so klein wie Gummiringe und Schrauben. So groß wie Ventile und Vakuumpumpen, Sie können sie ändern, solange Sie sie zur Hand haben. Die zu verschweißten Teile müssen gemäß den Anforderungen durchgeführt werden, und es ist auch erforderlich, zu bestätigen, ob die Anforderungen nach dem Schweißen erfüllt werden.